[发明专利]一种加工基板的设备

权利要求书

1.一种加工基板的设备，其特征在于包括：

传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；

蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；

振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；

开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；

控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；

清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液；

所述振子传感器包括支架和振子体，所述振子体通过转轴安装在所述支架上，所述开关组件设置在所述振子体的下方；

所述开关组件，包括:

按钮；

可动接点，所述可动接点与所述按钮连接；

固定接点；

导线，所述导线一端与所述固定接点电连接，另一端与所述控制模块电连接。

2.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述设备还包括：

定位板，所述振子传感器固定在所述定位板上，所述定位板上设置有定位刻度线；

定位螺母，所述定位螺母用于在调整、安装或更换振子传感器时标定定位刻度线上的刻度。

3.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述转轴与所述支架的连接处设有垫片。

4.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述振子传感器还包括转子，所述转子设置在所述振子体的顶部。

5.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：起始状态下，所述可动接点与所述固定接点相分离，当按钮被按压后，所述可动接点与所述固定接点电连接。

6.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：起始状态下，所述可动接点与所述固定接点电连接，当按钮被按压后，所述可动接点与所述固定接点相分离。

7.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述设备还包括导管，所述开关组件收容在所述导管内，所述导管通过固定螺母固定在支架上。

8.如权利要求1所述的一种加工基板的设备，其特征在于：所述蚀刻装置与所述清洗装置喷射的液体均为草酸溶液。