[发明专利]间隙粒子散布装置有效
| 申请号： | 201710613734.0 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107463030B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 余威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种间隙粒子散布装置，用以向玻璃基板表面散布间隙粒子，包括：一密封腔室，以及位于所述密封腔室内的基台、顶针、以及若干吸附组件，各吸附组件对应设置于所述基台的四个边缘区域，各所述吸附组件独立通入电流，以分别控制各所述吸附组件的静电吸附力；本发明的有益效果为：本发明的间隙粒子散布装置，在基台上增设吸附装置，从而调整基台边缘区域得到均匀厚度的间隙粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 间隙 粒子 散布 装置 | ||
【主权项】：
一种间隙粒子散布装置，用以向玻璃基板表面散布间隙粒子，其特征在于，包括：一密封腔室，所述密封腔室内壁通入电流以产生静电；以及位于所述密封腔室内的基台，位于所述密封腔室底部，用以承载所述玻璃基板；顶针，可伸缩地设置于所述基台表面，用以抬升所述玻璃基板；以及若干吸附组件，对应设置于所述基台的四个边缘区域，各所述吸附组件独立通入电流，以分别控制各所述吸附组件的静电吸附力。
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