[发明专利]间隙粒子散布装置

权利要求书

1.一种间隙粒子散布装置，用以向玻璃基板表面散布间隙粒子，其特征在于，包括：

一密封腔室，所述密封腔室内壁通入电流以产生静电；

以及位于所述密封腔室内的基台，位于所述密封腔室底部，用以承载所述玻璃基板；

顶针，可伸缩地设置于所述基台表面，用以抬升所述玻璃基板；

以及若干吸附组件，对应设置于所述基台的四个边缘区域，各所述吸附组件独立通入电流，以分别控制各所述吸附组件的静电吸附力；

其中，所述吸附组件包括吸附板，以及设置于所述吸附板底部的卡件，所述卡件的一侧卡设于所述基台边缘，所述吸附板的一端与所述卡件相接；所述吸附板呈倾斜设置，所述吸附板与所在基台边缘的区域形成开角，所述开角朝向该基台边缘的外侧。

2.根据权利要求1所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述吸附板的一端与所述卡件上侧铰连，所述吸附板与所述卡件的连接处设置有限位件。

3.根据权利要求1所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述吸附板与相连接的所述卡件，通过同一金属薄板弯折成型。

4.根据权利要求1至3任一项权利要求所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述卡件包括上卡板、与所述上卡板相对设置的下卡板、以及一侧板，所述上卡板与所述下卡板的同一端通过所述侧板固定连接，所述上卡板的相对另一端与所述吸附板的端部相连接。

5.根据权利要求1所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述吸附板一侧设置有可伸缩地副板，所述副板的长边与所述吸附板的长边相互平行。

6.根据权利要求5所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述吸附板的内侧上端设置有第一卡边，所述吸附板的内侧下端设置有平行于所述第一卡边的第二卡边，所述副板可滑动地卡设于所述第一卡边与所述第二卡边之间。

7.根据权利要求1所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述密封腔室的内部顶端设置有喷头，所述喷头连接有管道，所述管道的相对另一端连接有间隙粒子容器，所述间隙粒子容器内混合有氮气。

8.根据权利要求1所述的间隙粒子散布装置，其特征在于，所述密封腔室的底部开设有排气口，所述密封腔室的排气口处设置有气阀。