[发明专利]一种真空用工件高速旋转装置在审
| 申请号： | 201710603750.1 | 申请日： | 2017-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109280898A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;张小飞 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及到旋转装置技术领域，尤其涉及一种真空用工件高速旋转装置。该真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一、电机、电机安装板、支撑杆、磁流体密封装置二、安装法兰、传动轴、晶控探头和隔板。本发明设计了一种真空用工件高速旋转装置采用磁流体密封装置一和磁流体密封装置二双磁流体密封直驱方式，使镀膜过程中的工件转速达到200转每分钟，将光学膜厚监控系统采样频率提高10倍。采用此种装置后，膜厚均匀性较市场现有技术水平提高了一个数量级，可用于镀制高质量多层膜。总之，该真空用工件高速旋转装置结构设计合理，镀膜更加精准，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 高速旋转装置 磁流体密封装置 光学膜厚监控系统 隔板 电机安装板 膜厚均匀性 安装法兰 采样频率 镀膜过程 工件转速 流体密封 旋转装置 直驱方式 传动轴 多层膜 支撑杆 探头 镀膜 镀制 可用 双磁 技术水平 电机 | ||
【主权项】：
1.一种真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一（2）、电机（3）、电机安装板（4）、支撑杆（5）、磁流体密封装置二（6）、安装法兰（7）、传动轴（8）、晶控探头（9）和隔板（10），其特征在于：所述安装法兰（7）固定在隔板（10）上，所述隔板（10）的上部为大气侧，所述隔板（10）的下部为真空侧，所述电机安装板（4）通过支撑杆（5）固定在安装法兰（7）上，所述电机安装板（4）上设有电机（3）和传动轴（8），所述传动轴（8）从安装法兰（7）和隔板（10）内穿过，所述传动轴（8）的底部设有晶控探头（9），所述晶控探头（9）位于真空侧内，所述传动轴（8）的中部外侧紧贴着安装法兰（7）设有磁流体密封装置二（6），所述传动轴（8）的上部外侧设有磁流体密封装置一（2）。
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