[发明专利]一种真空用工件高速旋转装置在审
| 申请号： | 201710603750.1 | 申请日： | 2017-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109280898A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;张小飞 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高速旋转装置 磁流体密封装置 光学膜厚监控系统 隔板 电机安装板 膜厚均匀性 安装法兰 采样频率 镀膜过程 工件转速 流体密封 旋转装置 直驱方式 传动轴 多层膜 支撑杆 探头 镀膜 镀制 可用 双磁 技术水平 电机 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空用工件高速旋转装置，包括磁流体密封装置一（2）、电机（3）、电机安装板（4）、支撑杆（5）、磁流体密封装置二（6）、安装法兰（7）、传动轴（8）、晶控探头（9）和隔板（10），其特征在于：所述安装法兰（7）固定在隔板（10）上，所述隔板（10）的上部为大气侧，所述隔板（10）的下部为真空侧，所述电机安装板（4）通过支撑杆（5）固定在安装法兰（7）上，所述电机安装板（4）上设有电机（3）和传动轴（8），所述传动轴（8）从安装法兰（7）和隔板（10）内穿过，所述传动轴（8）的底部设有晶控探头（9），所述晶控探头（9）位于真空侧内，所述传动轴（8）的中部外侧紧贴着安装法兰（7）设有磁流体密封装置二（6），所述传动轴（8）的上部外侧设有磁流体密封装置一（2）。
2.根据权利要求1所述的一种真空用工件高速旋转装置，其特征在于：所述磁流体密封装置一（2）上设有晶控探头安装法兰（1）。
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