[发明专利]圆筒形溅射靶在审
| 申请号： | 201710599096.1 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107829073A | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 石田新太郎;久保田高史 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的圆筒形溅射靶(10)具有多个圆筒形溅射靶材(20)。溅射靶材(20)沿着它们的轴线A方向串联配置。沿着轴线A方向相邻的两个溅射靶材(20)是溅射靶材(20)的相对置的端面(21)彼此呈互补形状。端面(21)呈不具有与溅射靶材(20)的轴线A正交的平面的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 溅射 | ||
【主权项】：
一种圆筒形溅射靶，其具有多个圆筒形溅射靶材，其中，所述溅射靶材沿着它们的轴线方向串联配置，沿着轴线方向相邻的两个所述溅射靶材是所述溅射靶材的相对置的端面彼此呈互补形状，所述端面呈不具有与所述溅射靶材的轴线正交的平面的形状。
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