[发明专利]金属掩膜板的制备方法有效
| 申请号： | 201710570518.2 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107365958B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 李春霞 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C18/31;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11444 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 201201 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金属掩膜板的制备方法，包括：基板预处理；沉积金属材料形成金属材料层；使用激光干涉图案化；脱模，得到所述金属掩膜板。通过本申请的方法可以高效的制备致密、均匀的金属掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩膜板 制备 致密 沉积金属材料 基板预处理 金属材料层 激光干涉 图案化 脱模 申请 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜板的制备方法，所述金属掩膜板用于显示技术领域，其特征在于，所述制备方法包括：/n基板预处理；/n先在所述基板上沉积金属材料形成金属材料层；/n然后使用激光干涉对沉积后的所述金属材料层进行图案化；/n脱模，得到所述金属掩膜板。/n
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