[发明专利]柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置

摘要

本申请公开了柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置。柔性显示面板的一具体实施方式包括依次层叠设置的：第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；其中，多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，柔性显示面板由激光剥离工艺将第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。该实施方式能够提升柔性显示面板的制作良率。

主权项

一种柔性显示面板，其特征在于，包括依次层叠设置的：第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；其中，所述多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，所述有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，所述柔性显示面板由激光剥离工艺将所述第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；所述激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，所述准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；所述第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；所述第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。