[发明专利]柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置

权利要求书

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括依次层叠设置的：

第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；

其中，所述多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，所述有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，所述柔性显示面板由激光剥离工艺将所述第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；

所述激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，所述准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；

所述第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；

所述第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％；

所述柔性显示面板还包括图案化的热保护层，所述热保护层位于所述第一柔性衬底与所述第二柔性衬底之间；所述热保护层包括以下至少一项：导热层、光反射层；所述热保护层的图案对应于像素的位置，所述像素在所述第一柔性衬底所在平面上的正投影覆盖所述热保护层在所述第一柔性衬底所在平面上的正投影。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述热保护层位于所述第一阻挡层和所述第二柔性衬底之间。

3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述导热层的材料包含石墨烯和/或金属；

所述光反射层的材料包含金属。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二柔性衬底包含散热粒子，所述散热粒子包括以下至少一项：导热粒子、吸热粒子和光反射粒子。

5.根据权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述导热粒子的材料包含石墨烯和/或金属；

所述吸热粒子的材料包含非晶硅；

所述光反射粒子的材料包含金属。

6.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，λ1≤400nm，λ2≤400nm。

7.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括有机发光器件层，所述有机发光器件层位于所述多晶硅薄膜晶体管器件层远离所述第二阻挡层的一侧。

8.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供刚性基板；

在所述刚性基板上依次形成第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底以及第二阻挡层；

在所述第二阻挡层上形成非晶硅层；

采用准分子激光退火工艺使所述非晶硅层的硅晶化，形成多晶硅层；

对所述多晶硅层进行图形化，形成薄膜晶体管器件层的有源层；

在所述有源层上依次形成所述薄膜晶体管器件的源漏极、有机发光器件以及封装层；

利用激光剥离工艺将所述刚性基板与所述第一柔性衬底剥离；

其中，所述激光剥离工艺采用峰值波长为λ1的激光，所述准分子激光退火工艺采用峰值波长为λ2的激光；

所述第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；

所述第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％；

在所述刚性基板上形成第一柔性衬底和第一阻挡层之后、形成第二柔性衬底和第二阻挡层之前，所述方法还包括：

在所述第一阻挡层上形成图案化的热保护层，使所述热保护层的图案对应于像素的位置，所述像素在所述第一柔性衬底所在平面上的正投影覆盖所述热保护层在所述第一柔性衬底所在平面上的正投影；所述热保护层包括以下至少一项：导热层、光反射层。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，λ1≤400nm，λ2≤400nm。

10.一种柔性显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的柔性显示面板。