[发明专利]一种蒸发源和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710542145.8 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107267925B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 段廷原;姚固;邹清华;王玉;谢虎;付潇;曾苏伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发源和蒸镀装置，属于半导体工艺设备领域。该蒸发源包括坩埚、加热丝、反射板和冷却装置，加热丝围绕坩埚设置，反射板围绕坩埚设置，冷却装置设置在反射板外，蒸发源还包括设置在反射板和冷却装置之间的温差发电片，通过在反射板和冷却装置之间设置温差发电片，由于反射板和冷却装置存在温差，因此温差发电片可以利用温差产生一定的电能，从而可以回收一部分能量，减少能量的浪费，提高了能量的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，所述蒸发源包括坩埚、加热丝、反射板和冷却装置，所述加热丝围绕所述坩埚设置，所述反射板围绕所述坩埚设置，所述冷却装置设置在所述反射板外，其特征在于，所述蒸发源还包括设置在所述反射板和所述冷却装置之间的温差发电片。
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