[发明专利]一种蒸发源和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710542145.8 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107267925B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 段廷原;姚固;邹清华;王玉;谢虎;付潇;曾苏伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发源，所述蒸发源包括坩埚、加热丝、反射板和冷却装置，所述加热丝围绕所述坩埚设置，所述反射板围绕所述坩埚设置，所述冷却装置设置在所述反射板外，其特征在于，所述蒸发源还包括设置在所述反射板和所述冷却装置之间的温差发电片。
2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述温差发电片包括平行相对设置的吸热板和导热板、以及设置在所述吸热板和所述导热板之间的发电结构。
3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述吸热板采用硅硼化物纳米材料制成。
4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述导热板采用聚噻吩纳米纤维制成。
5.根据权利要求1～4任一项所述的蒸发源，其特征在于，所述温差发电片与所述反射板的相互接触的表面上和/或所述温差发电片与所述冷却装置的相互接触的表面上对应设置有相互配合的凹形结构和凸形结构。
6.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在于，所述凸形结构阵列排布。
7.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源还包括电能存储单元，所述电能存储单元与所述发电结构电连接。
8.根据权利要求7所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源还包括温度检测器，所述温度检测器用于检测所述坩埚的外壁的温度。
9.根据权利要求8所述的蒸发源，其特征在于，所述反射板上设置有通孔，所述温度检测器插装在所述通孔中。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括权利要求1～9任一项所述的蒸发源。
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