[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、显示基板及显示装置在审
申请号: | 201710534399.5 | 申请日: | 2017-07-03 |
公开(公告)号: | CN107331709A | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 卢鑫泓;王珂;胡合合 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336;H01L27/12 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 黄灿,张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板及显示装置,属于显示技术领域。薄膜晶体管,包括位于衬底基板上的第一极、有源层、第二极、栅绝缘层和栅电极,所述第一极上设置有间隔层,所述间隔层未完全覆盖所述第一极,所述有源层包括位于所述间隔层上的第一部分和位于所述第一极上的第二部分,所述第二极位于所述有源层的第一部分上,其中,所述第一极为源电极和漏电极中的其中一个,所述第二极为源电极和漏电极中的另外一个。本发明的技术方案能够改善垂直结构的薄膜晶体管的性能,进而降低显示基板的驱动功耗。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制作方法 显示 显示装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管,包括位于衬底基板上的第一极、有源层、第二极、栅绝缘层和栅电极,其特征在于,所述第一极上设置有间隔层,所述间隔层未完全覆盖所述第一极,所述有源层包括位于所述间隔层上的第一部分和位于所述第一极上的第二部分,所述第二极位于所述有源层的第一部分上,其中,所述第一极为源电极和漏电极中的其中一个,所述第二极为源电极和漏电极中的另外一个。
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