[发明专利]一种压差环境光学窗口的加工方法有效
| 申请号： | 201710493477.1 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107144936B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 任晓坜;翟嘉;任戈;史建亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压差环境光学窗口的加工方法，将光学窗口的A、B两面分别置于不同的压力环境进行加工。其中，A面在常压下加工；而后设计一密封腔，将光学窗口安装于此密封腔上，A面朝内；调节密封腔内外压差为实际使用时光学窗口所处压差ΔP，然后对B面进行加工；同时采用仪器检测光学窗口透射面形，如透射面形精度不足，则继续加工B面直到透射面形满足指标要求。本发明采用在实际压差工况下对光学窗口进行加工的方法，可弥补常规方法加工的光学窗口用于压差环境时，光学窗口由于压力变形所带来的光学像差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环境 光学 窗口 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压差环境光学窗口的加工方法，该方法利用的装置主要由：密封腔(1)，光学窗口(2)，干涉仪(3)，接口法兰(4)，抽气法兰(5)，标准反射镜(6)组成，其特征在于：该方法步骤如下：/n步骤S1：光学窗口材料为熔石英，口径200mm，厚度15mm，分A、B两面，先将A面加工至所需面形RMS＜λ/10，再将B面进行半精加工，面形RMS为2.1λ；/n步骤S2：设计一带有法兰的密封腔，其中抽气法兰接抽气泵，工作压力范围：101325Pa～1×10
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