[发明专利]一种压差环境光学窗口的加工方法

权利要求书

1.一种压差环境光学窗口的加工方法，该方法利用的装置主要由：密封腔(1)，光学窗口(2)，干涉仪(3)，接口法兰(4)，抽气法兰(5)，标准反射镜(6)组成，其特征在于：该方法步骤如下：

步骤S1：光学窗口材料为熔石英，口径200mm，厚度15mm，分A、B两面，先将A面加工至所需面形RMS＜λ/10，再将B面进行半精加工，面形RMS为2.1λ；

步骤S2：设计一带有法兰的密封腔，其中抽气法兰接抽气泵，工作压力范围：101325Pa～1×10^-2Pa；接口法兰接压力传感器，测量压力范围：0～1000Pa；

步骤S3：将光学窗口安装于步骤S2中的密封腔上，使步骤S1中加工好的A面朝内；

步骤S4：密封腔内安装一高精度标准反射镜，调整反射镜位置，使干涉仪能够检测到光学窗口的透射面形，并锁定反射镜位置；

步骤S5：通过安装于抽气法兰的抽气泵对密封腔抽气；

步骤S6：通过监测压力传感器的压力，保证密封腔内外压差ΔP与光学窗口实际压差工况一致，其中外部气压P1为大气压101325Pa，腔内气压P2为300Pa，密封腔内外压差ΔP＝|P1-P2|；

步骤S7：用干涉仪检测光学窗口，得到透射面形RMS为4.8λ；

步骤S8：根据步骤S7的检测结果对B面进行加工；

步骤S9：重复步骤S7和步骤S8，直到光学窗口透射面形满足RMS＜λ/10的指标要求。