[发明专利]一种压差环境光学窗口的加工方法有效

专利信息
申请号: 201710493477.1 申请日: 2017-06-26
公开(公告)号: CN107144936B 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 任晓坜;翟嘉;任戈;史建亮 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 环境 光学 窗口 加工 方法
【说明书】:

本发明公开了一种压差环境光学窗口的加工方法,将光学窗口的A、B两面分别置于不同的压力环境进行加工。其中,A面在常压下加工;而后设计一密封腔,将光学窗口安装于此密封腔上,A面朝内;调节密封腔内外压差为实际使用时光学窗口所处压差ΔP,然后对B面进行加工;同时采用仪器检测光学窗口透射面形,如透射面形精度不足,则继续加工B面直到透射面形满足指标要求。本发明采用在实际压差工况下对光学窗口进行加工的方法,可弥补常规方法加工的光学窗口用于压差环境时,光学窗口由于压力变形所带来的光学像差。

技术领域

本发明涉及光学元件加工领域,具体指一种在压差工况下使用的光学窗口的加工方法;该方法模拟压差工况,使光学窗口变形,在此基础上对光学窗口进行加工。该方法可避免传统光学窗口在压差工况下工作时,光学窗口变形引起像质变差;该方法可用于多种压差环境,如液压、气压、真空等。

背景技术

光学窗口在光学系统中有着广泛的应用,尤其是在水下探测器、高空高速航空相机、空间相机、真空激光等系统中。上述系统往往处于复杂的压力环境中,光学窗口不但起着保证透光的作用,而且起着减小压力对光学系统影响的作用,但由于光学窗口处于压差工况,压差使得光学窗口变形,最终使像质变差。

针对压差工况,目前多采用增加光学窗口厚度以提高刚度,减少压差变形这一技术路线。但该方法一方面会增加系统重量,增加系统尺寸,另一方面光学窗口增厚会降低光的透过率;此外,该方法还会加大经济成本。

经过对现有技术的文献检索发现,中国专利号:201310180114,发明名称:一种真空高精度窗口的实现方法及其装置。该专利公布了一种阶梯压差式真空窗口的实现方法。该方法通过采用n块窗口玻璃连续安装,并进行抽真空再充惰性气体的方式保证窗口的面形精度。但该高精度窗口组件多、尺寸大、重量大,造成的累积误差大;且该方法经济成本高。

发明内容

本发明要解决的技术问题为:针对传统方法加工的光学窗口用于压差工况时,压差导致光学窗口变形产生像差。本发明的目的是提供一种在压差工况下使用的光学窗口的加工方法;该方法模拟压差工况,使光学窗口变形,在此基础上对光学窗口进行加工。该方法可避免传统光学窗口在压差工况下工作时,光学窗口变形引起像质变差;该方法可用于多种压差环境,如液压、气压、真空等。

本发明采用的技术方案为:本发明公开一种压差环境光学窗口的加工方法,该加工方法步骤如下:

步骤S1:光学窗口分A、B两面,先将A面按常规方法加工至所需面形,再将B面进行半精加工;

步骤S2:设计一带有法兰的密封腔,其中抽气法兰接抽气泵;接口法兰接压力传感器;

步骤S3:将光学窗口安装于步骤S2中的密封腔上,使步骤S1中加工好的A面朝内;

步骤S4:密封腔内安装一高精度标准反射镜,调整反射镜位置,使干涉仪能够检测到光学窗口的透射面形,并锁定反射镜位置;

步骤S5:通过安装于抽气法兰的抽气泵对密封腔抽气;

步骤S6:通过监测压力传感器的压力,保证密封腔内外压差ΔP与光学窗口实际压差工况一致;

步骤S7:用干涉仪检测光学窗口,得到光学窗口的透射面形;

步骤S8:根据步骤S7的检测结果对B面进行加工;

步骤S9:重复步骤S7和步骤S8,直到光学窗口透射面形满足指标要求。

其中,步骤S6中所述的密封腔内外压差具体满足以下要求:外部气压P1,腔内气压P2,密封腔内外压差ΔP=|P1-P2|。

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