[发明专利]一种靶材组件的制造方法有效
| 申请号： | 201710469530.4 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109093218B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;李健成 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/005 | 分类号： | B23K1/005;B23K1/20;B23K3/04;B23K3/08 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钱过;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材组件的制造方法，包括：提供焊接平台；提供加热板，加热板放置于所述焊接平台，所述加热板经所述焊接平台加热后能够保温；提供靶材和背板，所述靶材和所述背板放置于所述焊接平台，在所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面涂布焊料；提供支架，待所述加热板、所述靶材和所述背板通过所述焊接平台加热至预设温度后，移动所述加热板至所述支架；移动所述靶材和所述背板至所述加热板，并将所述靶材的焊接面和所述背板的焊接面相对设置并贴合，形成靶材组件。本发明制造靶材组件的过程中，焊接平台无冷却降温过程，不需要经过再加热过程，提升了靶材组件的制造效率。 | ||
| 搜索关键词： | 焊接平台 加热板 靶材 靶材组件 背板 焊接面 制造 支架 加热 背板放置 降温过程 涂布焊料 相对设置 无冷却 再加热 移动 贴合 预设 保温 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：/n提供焊接平台；/n提供加热板，加热板放置于所述焊接平台，所述加热板经所述焊接平台加热后能够保温；/n提供靶材和背板，所述靶材和所述背板放置于所述焊接平台，在所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面涂布焊料；/n提供支架，待所述加热板、所述靶材和所述背板通过所述焊接平台加热至预设温度后，移动所述加热板至所述支架；/n所述预设温度为160～250℃；/n移动所述靶材和所述背板至所述加热板，并将所述靶材的焊接面和所述背板的焊接面相对设置并贴合，形成靶材组件。/n
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