[发明专利]一种靶材组件的制造方法有效
| 申请号： | 201710469530.4 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109093218B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;李健成 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/005 | 分类号： | B23K1/005;B23K1/20;B23K3/04;B23K3/08 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钱过;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 焊接平台 加热板 靶材 靶材组件 背板 焊接面 制造 支架 加热 背板放置 降温过程 涂布焊料 相对设置 无冷却 再加热 移动 贴合 预设 保温 | ||
1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：
提供焊接平台；
提供加热板，加热板放置于所述焊接平台，所述加热板经所述焊接平台加热后能够保温；
提供靶材和背板，所述靶材和所述背板放置于所述焊接平台，在所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面涂布焊料；
提供支架，待所述加热板、所述靶材和所述背板通过所述焊接平台加热至预设温度后，移动所述加热板至所述支架；
所述预设温度为160～250℃；
移动所述靶材和所述背板至所述加热板，并将所述靶材的焊接面和所述背板的焊接面相对设置并贴合，形成靶材组件。
2.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述加热板材质为铁或钢。
3.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述加热板的质量在55kg至65kg。
4.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，在所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面上环绕设有凸起，以容纳所述焊料。
5.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述焊料为铟焊料。
6.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，还包括：利用超声波处理所述靶材和所述背板的焊接面后，在所述靶材和所述背板的焊接面均涂布焊料。
7.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，还包括：在涂布焊料之前，采用钢丝毛刷对所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面进行摩擦。
8.如权利要求7所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面的粗糙度在1.6微米至2.4微米之间。
9.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，还包括：所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面上的焊料熔化时，在熔化的焊料中放置多根金属丝杆，形成焊料层。
10.如权利要求9所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆的直径在0.1mm至0.3mm。
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