[发明专利]蒸镀设备

摘要

本发明涉及显示器制备技术领域，公开了一种蒸镀设备，用以减少亚像素覆盖不全、像素之间混色现象的发生，提高掩模的网孔与基板的亚像素之间的对位精确度，提高蒸镀效果，提高蒸镀成品率。蒸镀设备包括与蒸镀设备的腔室内壁转动连接的支撑框架，固定于支撑框架的电磁铁，电磁铁包括铁芯以及缠绕于铁芯上的线圈，其中铁芯的轴线垂直于掩模，电磁铁用于在其内的线圈通入电流时吸附掩模，且电磁铁内的线圈通入的电流的大小可调。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，包括：与蒸镀设备的腔室内壁转动连接的支撑框架，固定于所述支撑框架的电磁铁，所述电磁铁包括：铁芯以及缠绕于所述铁芯上的线圈，其中所述铁芯的轴线垂直于掩模，所述电磁铁用于在其内的线圈通入电流时吸附所述掩模，且所述电磁铁内的线圈通入的电流的大小可调。