[发明专利]蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

与蒸镀设备的腔室内壁转动连接的支撑框架，固定于所述支撑框架的电磁铁，所述电磁铁包括：铁芯以及缠绕于所述铁芯上的线圈，其中所述铁芯的轴线垂直于掩模，所述电磁铁用于在其内的线圈通入电流时吸附所述掩模，且所述电磁铁内的线圈通入的电流的大小可调。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述电磁铁的个数为多个，多个所述电磁铁被划分为至少两个区域，每个所述区域内相邻的电磁铁之间相互串联。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：供电装置，所述供电装置包括与多个所述电磁铁被划分的区域一一对应连接的输出端，且每个输出端连接有用于调节输出电流大小的调节装置。

4.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：与多个所述电磁铁被划分的区域一一对应连接的供电装置，每个所述供电装置的输出端连接有用于调节输出电流大小的调节装置。

5.根据权利要求3或4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备上设有用于控制所述调节装置的调节开关。

6.根据权利要2所述的蒸镀设备，其特征在于，多个所述电磁铁被划分的区域的个数与待蒸镀的基板上的子基板的个数一一对应。

7.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，多个所述电磁铁被划分的区域的个数与待蒸镀的基板上的子基板内的像素单元的个数一一对应。

8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述电磁铁内的线圈通入的电流的方向可调。

9.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，每个所述电磁铁卡接或焊接于所述支撑框架。

10.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：

安装于所述蒸镀设备的腔室内壁上的导电滑环；

所述支撑框架上设有与所述导电滑环转动连接的安装轴，所述安装轴的内部具有中空腔室，所述铁芯上的线圈穿过所述中空腔室与所述导电滑环电连接。