[发明专利]掩膜板、其制作方法和利用其进行蒸镀方法有效
| 申请号： | 201710428142.1 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN107099770B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王有为;张嵩;孙韬;宋平;蔡鹏;郭远征 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王晓燕 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩膜板、其制作方法和利用其进行蒸镀方法，该掩膜板包括开口板，所述开口板包括开口和位于开口之外的遮挡部，遮挡部中设置有凹槽，凹槽的深度小于遮挡部的厚度。在蒸镀过程中掩膜板的凹槽与待蒸镀基板的凸起之间形成空隙，从而可以避免待蒸镀基板在该凸起处产生颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制作方法 利用 进行 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括开口板，其中，所述开口板包括开口以及位于所述开口之外的遮挡部，并且所述遮挡部中设置有凹槽，所述凹槽的深度小于所述遮挡部的厚度。
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