[发明专利]双氧水稳定剂及包含其的蚀刻组合物有效
| 申请号： | 201710425495.6 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN107475715B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 李明翰;李宝研;安镐源;朴钟模;金世训 | 申请（专利权）人： | 易案爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/30 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供双氧水稳定剂及包含其的蚀刻组合物，本发明的蚀刻组合物通过包含本发明的双氧水稳定剂，来当进行蚀刻工序时，防止过氧化氢的分解，并控制金属界面的过蚀刻，从而具有优秀的蚀刻特性。 | ||
| 搜索关键词： | 双氧水 稳定剂 包含 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种双氧水稳定剂，其特征在于，包含己胺。
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