[发明专利]基板清洗方法与清洗设备

摘要

本发明公开了一种清洗设备，包括第一腔室、移动元件、滚轮组、承接元件及喷管元件。移动元件位于第一腔室内。滚轮组容置于第一腔室，承接元件位于第一腔室内，承接元件用以承接移动元件所传送的基板。喷管元件位于第一腔室内，且喷管元件位于承接元件之下，喷管元件用以朝承接元件的镂空部内的基板的下表面喷洒液体。此外，一种基板清洗方法亦被提出。

主权项

1.一种基板清洗方法，该基板清洗方法适用于一清洗设备，其特征在于，该清洗设备包含一滚轮组、至少一喷管元件、至少一移动元件以及一承接元件，该滚轮组于一输送位置上输送一基板，该输送位置为该滚轮组位于该移动元件的一移动行程的一第一位置上，该移出位置为该滚轮组离开该移动行程，该移动元件沿该移动行程将该基板于该第一位置、一第二位置及一第三位置之间移动，该第二位置高于该第一位置，该第三位置低于该第一位置，该承接元件设于该第三位置，且该承接元件具有一镂空部，该基板清洗方法包括以下步骤：借由该移动元件将该基板沿着该移动行程由该第一位置上移至该第二位置；该滚轮组由该输送位置移动至该移出位置；借由该移动元件将该基板沿着该移动行程由该第二位置下移至该第三位置中的该承接元件；以及该喷管元件朝该承接元件的该镂空部内的该基板的一下表面喷洒液体。