[发明专利]真空封装、电子器件、电子设备以及移动体在审
申请号: | 201710413985.4 | 申请日: | 2017-06-05 |
公开(公告)号: | CN107527871A | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 川合纮梦 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L23/10 | 分类号: | H01L23/10;H01L23/26;H01L23/34 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,邓毅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 真空封装、电子器件、电子设备以及移动体,能够实现外形尺寸的小型化。真空封装(1)的特征在于,具有基板(10);一对贯通电极(20),它们贯通基板;吸气剂(30),其架设在一对贯通电极之间;以及盖(50),其覆盖基板(10)上的一对贯通电极(20)和吸气剂(30),盖(50)与基板(10)气密地接合,由基板(10)和盖(50)构成的内部空间(60)为减压状态,一对贯通电极(20)具有内部空间(60)侧的第1端部(21)、与第1端部相反侧的第2端部(22),吸气剂与一对贯通电极(20)的第1端部(21)接合,并通过经由贯通电极的通电而被加热,吸气剂(30)在贯通电极(20)之间的部分与基板相离。 | ||
搜索关键词: | 真空 封装 电子器件 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种真空封装,其特征在于,该真空封装具有:基板;一对贯通电极,它们贯通所述基板;吸气剂,其架设在所述一对贯通电极之间;以及盖,其覆盖所述基板上的所述一对贯通电极和所述吸气剂,所述盖与所述基板气密地接合,由所述基板和所述盖构成的内部空间为减压状态,所述一对贯通电极具有所述内部空间侧的第1端部以及与所述第1端部相反侧的第2端部,所述吸气剂与所述一对贯通电极的所述第1端部接合,并通过经由所述贯通电极的通电而被加热,所述吸气剂在所述贯通电极之间的部分与所述基板相离。
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