[发明专利]单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法在审
| 申请号： | 201710396229.5 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN108943458A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟;李鑫 | 申请（专利权）人： | 浙江集英精密机器有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 王丽丹 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法，该单晶硅棒转运装置包括：换向载具；硅棒夹具，设于所述换向载具的硅棒夹具区；其中，所述换向载具被驱动作换向运动，所述换向载具上的硅棒夹具在换向运动中将单晶圆硅棒由上料工位转运至开方作业工位及/或将单晶硅方体由开方作业工位转运至下料工位。如此，可实现工件的快速且便捷地转运，提高了工件的转运效率，另外，换向载具上的硅棒夹具具有单晶圆硅棒和单晶硅方体的双重夹持功能，在不增加结构复杂度的情形下可以省去夹具，增加其他结构的设计空间及降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅棒 转运 换向 载具 硅棒夹具 转运装置 单晶硅 换向运动 作业工位 开方 单晶 方体 硅棒 夹具 结构复杂度 上料工位 设计空间 双重夹持 下料工位 驱动 申请 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅棒转运装置，应用于单晶硅棒多线切割设备中，所述单晶硅棒多线切割设备具有上料工位、开方作业工位、以及下料工位，其特征在于，所述单晶硅棒转运装置包括：换向载具；硅棒夹具，设于所述换向载具的硅棒夹具区；其中，所述换向载具被驱动作换向运动，所述换向载具上的硅棒夹具在换向运动中将单晶圆硅棒由上料工位转运至开方作业工位及/或将单晶硅方体由开方作业工位转运至下料工位。
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