[发明专利]单晶硅棒转运装置及单晶硅棒转运方法

权利要求书

1.一种单晶硅棒转运装置，应用于单晶硅棒多线切割设备中，所述单晶硅棒多线切割设备具有上料工位、开方作业工位、以及下料工位，其特征在于，所述单晶硅棒转运装置包括：

换向载具；

硅棒夹具，设于所述换向载具的硅棒夹具区；

其中，所述换向载具被驱动作换向运动，所述换向载具上的硅棒夹具在换向运动中将单晶圆硅棒由上料工位转运至开方作业工位及/或将单晶硅方体由开方作业工位转运至下料工位。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，所述硅棒夹具包括：

硅棒夹具安装件，设于所述换向载具上；以及

至少两个硅棒夹持件，沿着所述硅棒夹具安装件间距设置。

3.根据权利要求2所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，所述硅棒夹持件包括：

夹臂安装座，设于所述夹具安装件上；

两个夹臂，活动设于所述夹臂安装座上；所述夹臂上设有相对设置的两个夹齿；以及

夹臂驱动机构，用于驱动所述两个夹臂作开合动作；

其中，所述两个夹臂在所述夹臂驱动机构驱动下夹合时，所述两个夹臂上的夹齿夹持于单晶圆硅棒的柱面或者单晶硅方体的连接棱面。

4.根据权利要求3所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，所述夹臂驱动机构包括：

开合齿轮，设于所述夹臂上；

齿轮驱动件，具有与所述夹臂上的开合齿轮啮合的齿纹；以及

驱动源，连接于所述齿轮驱动件，用于驱动所述齿轮驱动件运动。

5.根据权利要求4所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，

所述齿轮驱动件为齿条，所述齿条的相对两侧分别设有与所述至少两个夹臂上的开合齿轮啮合对应的齿纹；以及

所述驱动源为用于带动所述齿条运动的气缸或驱动电机。

6.根据权利要求4所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，

所述齿轮驱动件为驱动齿轮结构；以及

所述驱动源为用于带动所述驱动齿轮结构运转的驱动电机。

7.根据权利要求2所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，在所述硅棒夹具中，至少两个硅棒夹持件中的至少一个硅棒夹持件设有导向驱动机构，用于驱动其沿着所述硅棒夹具安装件运动，以调节所述至少两个硅棒夹持件的间距。

8.根据权利要求7所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，所述导向驱动机构包括：导向丝杠和导向电机，其中，所述导向丝杠的一端连接于所述硅棒夹持件，所述导向丝杠的另一端连接于所述导向电机。

9.根据权利要求2或7所述的单晶硅棒转运装置，其特征在于，还包括高度检测仪，设于所述换向载具上，用于检测所述单晶圆硅棒的高度。

10.一种单晶硅棒转运方法，应用于如权利要求1至9中任一项所述的单晶硅棒转运装置中，其特征在于，所述单晶硅棒转运方法包括：

利用单晶硅棒转运装置中的硅棒夹具夹持住位于上料工位的单晶圆硅棒；

驱动换向载具作换向运动，使得所述硅棒夹具带着夹持住的单晶圆硅棒由上料工位转换至开方作业工位；

释放所述硅棒夹具，将夹持住的所述单晶圆硅棒置放于开方作业工位，用于对开方作业工位上的单晶圆硅棒进行开方作业以形成单晶硅方体；

利用所述硅棒夹具夹持住位于所述开方作业工位的单晶硅方体；

驱动所述换向载具作换向运动，使得所述硅棒夹具带着夹持住的单晶硅方体由开方作业工位转换至下料工位；以及

释放所述硅棒夹具，将夹持住的所述单晶硅方体置放于下料工位并进行下料。