[发明专利]一种蒸镀坩埚和蒸镀设备

摘要

本发明提供一种蒸镀坩埚和蒸镀设备，所述蒸镀坩埚包括本体和具有开口盖体，盖体设置于本体的顶部，本体的底壁上设置有导热柱，导热柱的顶端位于开口的位置。在蒸镀过程中，导热柱可以将热量传导至其周边的蒸镀材料，使本体内部的蒸镀材料受热蒸发，相比于仅通过本体的外壁的加热方式，蒸镀材料的蒸发均匀性更好，可以减小本体内部的蒸镀材料变质，从而提高真空蒸镀工艺成膜的质量。而且，导热柱的侧壁与开口的侧壁距离较近，导热柱能够将足够的热量传导至开口的侧壁，使开口的侧壁的温度较高，从而可以避免蒸镀材料冷凝并堆积在开口的侧壁上，进而提高蒸镀材料的蒸发速率的稳定性。

主权项

一种蒸镀坩埚，包括本体和具有开口的盖体，所述盖体设置于所述本体的顶部，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括导热柱，所述导热柱设置在所述本体的底壁上，且所述导热柱的顶端位于所述开口的位置。