[发明专利]一种蒸镀坩埚和蒸镀设备在审
| 申请号： | 201710391366.X | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN107058958A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 罗程远;申永奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 刘悦晗,陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 设备 | ||
1.一种蒸镀坩埚，包括本体和具有开口的盖体，所述盖体设置于所述本体的顶部，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括导热柱，所述导热柱设置在所述本体的底壁上，且所述导热柱的顶端位于所述开口的位置。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述开口位于所述盖体的中部，且所述导热柱位于所述本体的底壁的中部。
3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，在从所述本体的底壁到所述盖体的方向上，所述导热柱的横截面积逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热柱的顶面和底面为多边形。
5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述多边形的各边均为弧线，且各所述弧线的圆心与所述多边形的中心位于各所述弧线的两侧。
6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述多边形为三角形或四边形。
7.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热柱的各侧壁均为抛物面。
8.根据权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，相邻所述侧壁之间形成圆角。
9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的蒸镀坩埚。
10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述导热柱与所述本体的底壁一体成型，且所述底壁上与所述导热柱相对应的位置朝所述盖体的方向凹陷形成容置空间；
所述蒸镀设备还包括用于加热所述导热柱的加热装置，所述加热装置位于所述容置空间内。
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