[发明专利]一种多晶硅棒生长直径的测量装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅棒生长直径的测量装置，包括炉体，所述炉体的底部连接有支腿，所述炉体底部安装有液压缸，所述液压缸的输出端连接有活塞杆，所述活塞杆的一端伸入到炉体内，所述活塞杆的端部连接有升降平台，所述炉体的顶部设有检测窗，所述检测窗水平设置，所述检测窗的顶部转动连接有测微尺，所述炉体的侧壁上固定连接有固定支架，所述固定支架上转动连接有转动支架，所述转动支架的一端连接有光学显微镜，所述光学显微镜的顶部设有观察口，所述光学显微镜的底部设有镜头，所述镜头处还设有红外线发射器，所述炉体的内部均匀覆盖有保温结构层，所述炉体内部还安装有LED灯，适合广泛推广。

主权项

一种多晶硅棒生长直径的测量装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的底部连接有支腿(2)，所述炉体(1)底部安装有液压缸(3)，所述液压缸(3)的输出端连接有活塞杆(4)，所述活塞杆(4)的一端伸入到炉体(1)内，所述活塞杆(4)的端部连接有升降平台(5)，所述炉体(1)的顶部设有检测窗(6)，所述检测窗(6)水平设置，所述检测窗(6)的顶部转动连接有测微尺(8)，所述炉体(1)的侧壁上固定连接有固定支架(9)，所述固定支架(9)上转动连接有转动支架(10)，所述转动支架(10)的一端连接有光学显微镜(11)，所述光学显微镜(11)的顶部设有观察口(12)，所述光学显微镜(11)的底部设有镜头(13)，所述镜头(13)处还设有红外线发射器(14)，所述炉体(1)的内部均匀覆盖有保温结构层(15)，所述炉体(1)内部还安装有LED灯(16)。