[发明专利]一种多晶硅棒生长直径的测量装置在审
| 申请号： | 201710378383.X | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107101554A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 袁荣;张巍;费凌翔;吴倩倩;王涛;王静;周海燕 | 申请（专利权）人： | 芜湖中科智捷信息科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B5/08 | 分类号： | G01B5/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生长 直径 测量 装置 | ||
1.一种多晶硅棒生长直径的测量装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的底部连接有支腿(2)，所述炉体(1)底部安装有液压缸(3)，所述液压缸(3)的输出端连接有活塞杆(4)，所述活塞杆(4)的一端伸入到炉体(1)内，所述活塞杆(4)的端部连接有升降平台(5)，所述炉体(1)的顶部设有检测窗(6)，所述检测窗(6)水平设置，所述检测窗(6)的顶部转动连接有测微尺(8)，所述炉体(1)的侧壁上固定连接有固定支架(9)，所述固定支架(9)上转动连接有转动支架(10)，所述转动支架(10)的一端连接有光学显微镜(11)，所述光学显微镜(11)的顶部设有观察口(12)，所述光学显微镜(11)的底部设有镜头(13)，所述镜头(13)处还设有红外线发射器(14)，所述炉体(1)的内部均匀覆盖有保温结构层(15)，所述炉体(1)内部还安装有LED灯(16)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅棒生长直径的测量装置，其特征在于：所述支腿(2)的底部设有地脚，所述支腿(2)和地脚之间螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅棒生长直径的测量装置，其特征在于：所述转动支架(10)包括第一转动架(17)和第二转动架(18)，所述第一转动架(17)和第二转动架(18)之间转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅棒生长直径的测量装置，其特征在于：所述炉体(1)的正面还设有观察窗(19)和温度计(20)。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅棒生长直径的测量装置，其特征在于：所述检测窗(6)的截面为圆形，所述检测窗(6)和炉体(1)的连接处还设有密封圈(7)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖中科智捷信息科技有限责任公司，未经芜湖中科智捷信息科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710378383.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种靶材余量测量装置
- 下一篇：一种声乐训练辅助装置
