[发明专利]阵列基板、显示面板及阵列基板的制作方法

摘要

本发明公开一种阵列基板，包括基板；栅极，形成在基板上；栅极绝缘层，形成在基板的朝向栅极的一侧，栅极绝缘层覆盖栅极；有源层，形成在栅极绝缘层的远离栅极的一侧，有源层采用铟镓锌锡氧化物材料；欧姆接触层，形成在有源层的远离栅极绝缘层的一侧，欧姆接触层采用被导体化的铟镓锌氧化物材料且覆盖有源层的两端；以及彼此间隔的源极和漏极，形成在欧姆接触层的远离有源层的一侧，源极和漏极分别通过欧姆接触层电连接至有源层的两端。所述阵列基板器件性能良好。本发明还公开一种显示面板和一种阵列基板的制作方法。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：基板；栅极，形成在所述基板上；栅极绝缘层，形成在所述基板的朝向所述栅极的一侧，所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；有源层，形成在所述栅极绝缘层的远离所述栅极的一侧，所述有源层采用铟镓锌锡氧化物材料；欧姆接触层，形成在所述有源层的远离所述栅极绝缘层的一侧，所述欧姆接触层采用被导体化的铟镓锌氧化物材料且覆盖所述有源层的两端；以及彼此间隔的源极和漏极，形成在所述欧姆接触层的远离所述有源层的一侧，所述源极和所述漏极分别通过所述欧姆接触层电连接至所述有源层的两端。