[发明专利]一种白色太阳能电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710351473.X 申请日: 2017-05-18
公开(公告)号: CN106972081B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 许新湖;梁兴芳;卢发树;柯雨馨 申请(专利权)人: 阳光中科(福建)能源股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0216;H01L31/0224
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 362000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种白色太阳能电池的制备方法,所述方法包括如下步骤:首先硅片正、背面制绒;再进行磷扩散,形成PN结;接着磷玻璃去除及削边;然后硅片正面蒸镀金属Mg;在硅片正面Ag电极印刷;再进行一次烘干及Mg氧化;在硅片背面Al背场印刷;再进行二次烘干及Mg氧化;在硅片背面Ag电极印刷;最后进行高温烧结及Mg氧化,形成MgO膜。本发明由高真空蒸镀的MgO膜作为減反膜代替传统PECVD方式生产的SiNX膜,表面复合减少,烧结后的Ag/Mg/Si电极有低的接触电阻,进而提升电池的光电转换效率,技术成本低,工艺简单可行,可大批量生产。
搜索关键词: 太阳能电池 电极印刷 硅片背面 硅片正面 蒸镀 制备 光电转换效率 表面复合 二次烘干 高温烧结 技术成本 接触电阻 一次烘干 烧结 高真空 磷玻璃 磷扩散 电极 硅片 背场 削边 制绒 去除 背面 电池 金属 印刷 生产
【主权项】:
1.一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述方法包括如下步骤:硅片正、背面制绒;对制绒后的硅片进行磷扩散,形成PN结;对磷扩散处理后的硅片进行磷玻璃去除及削边;在磷玻璃去除及削边后的硅片正面蒸镀金属Mg;在蒸镀金属Mg后的硅片正面Ag电极印刷;对正面Ag电极印刷后的硅片进行一次烘干及Mg氧化;在烘干及Mg氧化后的硅片背面Al背场印刷;对背面Al背场印刷后的硅片进行二次烘干及Mg氧化;在二次烘干及Mg氧化后的硅片背面Ag电极印刷;对背面Ag电极印刷后的硅片进行高温烧结及Mg氧化,形成MgO膜。
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