[发明专利]一种白色太阳能电池的制备方法有效
| 申请号: | 201710351473.X | 申请日: | 2017-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN106972081B | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
| 发明(设计)人: | 许新湖;梁兴芳;卢发树;柯雨馨 | 申请(专利权)人: | 阳光中科(福建)能源股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0216;H01L31/0224 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 362000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 太阳能电池 电极印刷 硅片背面 硅片正面 蒸镀 制备 光电转换效率 表面复合 二次烘干 高温烧结 技术成本 接触电阻 一次烘干 烧结 高真空 磷玻璃 磷扩散 电极 硅片 背场 削边 制绒 去除 背面 电池 金属 印刷 生产 | ||
1.一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述方法包括如下步骤:
硅片正、背面制绒;
对制绒后的硅片进行磷扩散,形成PN结;
对磷扩散处理后的硅片进行磷玻璃去除及削边;
在磷玻璃去除及削边后的硅片正面蒸镀金属Mg;
在蒸镀金属Mg后的硅片正面Ag电极印刷;
对正面Ag电极印刷后的硅片进行一次烘干及Mg氧化;
在烘干及Mg氧化后的硅片背面Al背场印刷;
对背面Al背场印刷后的硅片进行二次烘干及Mg氧化;
在二次烘干及Mg氧化后的硅片背面Ag电极印刷;
对背面Ag电极印刷后的硅片进行高温烧结及Mg氧化,形成MgO膜。
2.根据权利要求1所述的一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述磷扩散采用的方阻值为100-120欧姆/sq。
3.根据权利要求1所述的一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述硅片正面蒸镀金属Mg采用热蒸镀机高真空蒸镀,加热器加热Mg金属锭到升华温度为433℃,腔体的真空度必先达到10-4~10-5Pa的高真空,Mg金属锭用量根据Mg锭与硅片距离及所要蒸镀的Mg厚度设定。
4.根据权利要求1所述的一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述硅片正面蒸镀金属Mg,硅片为P型单晶或多晶6英寸硅片,比电阻1.5Ω·cm,蒸镀厚度为200mm。
5.根据权利要求1所述的一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述一次烘干及Mg氧化和二次烘干及Mg氧化的烘干温度均为150℃,所述一次烘干及Mg氧化和二次烘干及Mg氧化后硅片的少子寿命均为13~15μs。
6.根据权利要求1所述的一种白色太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述高温烧结及Mg氧化的温度为850-900℃,所述高温烧结及Mg氧化后硅片的少子寿命为30~35μs。
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