[发明专利]定位装置、光刻装置及制造物品的方法

摘要

本发明提供一种定位装置、光刻装置及制造物品的方法。用于将可移动部在与第一方向和第二方向平行的面上移动的装置包括：单个导件，其用于约束可移动部在第二方向上的位置；以及驱动可移动部的驱动机构。可移动部包括：第一可移动构件，其能够在被导件导引的同时沿第一方向移动；第二可移动构件，其具有第一端及第二端，第一端经由旋转轴承而连接到第一可移动构件并且在所述面的上方移动，以及第三可移动构件，其能够在被第二可移动构件导引的同时在第一端与第二端之间的范围内移动。所述驱动机构包括：第一驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第一端，以及第二驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第二端。

主权项

一种定位装置，其被构造成将可移动部在与彼此垂直的第一方向和第二方向平行的面上移动，所述定位装置包括：单个导件，其用作被构造成约束所述可移动部在所述第二方向上的位置的导件；以及驱动机构，其被构造成驱动所述可移动部，其中，所述可移动部包括：第一可移动构件，其能够在被所述导件导引的同时沿所述第一方向移动；第二可移动构件，其具有第一端及第二端，所述第一端经由旋转轴承而连接到所述第一可移动构件并且在所述面的上方移动；以及第三可移动构件，其能够在被所述第二可移动构件导引的同时在所述第一端与所述第二端之间的预定范围内移动，并且所述驱动机构包括：第一驱动器，其被构造成沿所述第一方向驱动所述第二可移动构件的所述第一端；以及第二驱动器，其被构造成沿所述第一方向驱动所述第二可移动构件的所述第二端。