[发明专利]定位装置、光刻装置及制造物品的方法

说明书

本发明提供一种定位装置、光刻装置及制造物品的方法。用于将可移动部在与第一方向和第二方向平行的面上移动的装置包括：单个导件，其用于约束可移动部在第二方向上的位置；以及驱动可移动部的驱动机构。可移动部包括：第一可移动构件，其能够在被导件导引的同时沿第一方向移动；第二可移动构件，其具有第一端及第二端，第一端经由旋转轴承而连接到第一可移动构件并且在所述面的上方移动，以及第三可移动构件，其能够在被第二可移动构件导引的同时在第一端与第二端之间的范围内移动。所述驱动机构包括：第一驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第一端，以及第二驱动器，其用于沿第一方向驱动第二可移动构件的第二端。

技术领域

本发明涉及一种定位装置、光刻装置及制造物品的方法。

背景技术

在本说明书中，在水平面形成X-Y平面的X-Y-Z坐标系中示出方向。假设X方向、Y方向及Z方向分别地是平行于X-Y-Z坐标系中的X-轴、Y-轴及Z-轴的方向。假设θX、θY及θZ分别地是关于X-轴的旋转、关于Y-轴的旋转及关于Z-轴的旋转。关于X-轴、Y-轴及Z-轴的控制或驱动分别地意指关于平行于X-轴的方向、平行于Y-轴的方向及平行于Z-轴的方向的控制或驱动。此外，关于θX-轴、θY-轴及θZ-轴的控制或驱动分别地意指关于平行于X-轴的轴的旋转、关于平行于Y-轴的轴的旋转及关于平行于Z-轴的轴的旋转的控制或驱动。位置是可以基于X-轴坐标、Y-轴坐标及Z-轴坐标而指定的信息。姿态是可以通过关于θX-轴、θY-轴及θZ-轴的值而指定的信息。定位意指控制位置及/或姿态。

可以给出曝光装置及压印装置作为将原版图案转印到基板的光刻装置的示例。曝光装置经由投影光学系统而将原版图案投影在涂覆有感光剂的基板上，在感光剂中形成与原版图案相对应的潜像。压印装置在将原版(模具)与压印材料相接触的状态中将布置在基板上的压印材料固化，在基板上形成压印材料的图案。

光刻装置包括被构造成将基板定位的定位装置。关于由投影光学系统形成的图像的对准需要并入到曝光装置中的基板定位装置。因此，并入到曝光装置中的基板定位装置通常包括将基板关于X-轴、Y-轴、Z-轴、θX-轴、θY-轴及θZ-轴的六个轴定位从而关于由投影光学系统形成的图像对准的机构。在压印装置中可以进行基板与原版之间的相对对准是足够好的。因此，对于并入到压印装置中的基板定位装置而言，可以仅需要包括将基板关于X-轴、Y-轴及θZ-轴定位的机构。在压印装置中，原版驱动机构可以调整其他轴。

日本专利第3145355号描述了一种移动导件装置，其包括沿Y方向移动的Y载台以及沿X方向在Y载台上移动的X载台。注意，固定导件仅导引Y载台的两端中的一端。在利用具有这样的XY-载台布置的移动导件装置时，安装在X载台上的机构可以进行对除X-轴及Y-轴以外的轴的控制，例如，对θZ-轴的控制。

还存在通过枢转X载台或Y载台来实现对θZ-轴的控制的定位装置。日本专利特开昭62-152633号公报描述了一种气体轴承型多轴载台组件，其包括：沿Y方向移动的中间载台元件以及沿X方向关于中间载台元件移动的X-Y-θ载台，并且其中，中间载台元件的两端处的X-方向位置受到约束。在该载台组件中，可以通过将中间载台元件关于Z-轴枢转来枢转X-Y-θ载台。具有这样的布置的定位装置的优异之处在于，可以利用简单的布置来进行关于X-轴、Y-轴及θZ-轴的定位。

在日本专利特开昭62-152633号公报中所描述的布置中，沿Y方向移动的中间载台元件的两端的两个X-方向位置都受到约束，严重地限制在θZ-轴(关于Z-轴旋转)上的行程。因此，在具有这样的布置的基板定位装置中，关于θZ-轴的可调节范围极小。

发明内容

本发明提供了一种在利用简单的布置来使得关于旋转的行程更大的方面有利的技术。