[发明专利]定位装置、光刻装置及制造物品的方法

权利要求书

1.一种定位装置，其被构造成将可移动部在与彼此垂直的第一方向和第二方向平行的面上移动，所述定位装置包括：

仅一个导件，其用作被构造成约束所述可移动部在所述第二方向上的位置的导件；以及

驱动机构，其被构造成驱动所述可移动部，所述导件具有与第一方向平行且垂直于与所述第一方向和所述第二方向平行的所述面的导引面，

其中，所述可移动部包括：

第一可移动构件，其能够在被所述导件的导引面导引的同时沿所述第一方向移动；

第二可移动构件，其具有第一端及第二端，所述第一端经由旋转轴承而连接到所述第一可移动构件并且平行于所述导引面移动；以及

第三可移动构件，其能够在被所述第二可移动构件导引的同时在所述第一端与所述第二端之间的预定范围内移动，并且

所述驱动机构包括：

第一驱动器，其被构造成沿所述第一方向驱动所述第二可移动构件的所述第一端；以及

第二驱动器，其被构造成沿所述第一方向驱动所述第二可移动构件的所述第二端，所述第二驱动器包括第二定子，以及被构造为与所述第二可移动构件一起移动的第二动子，所述第二定子与所述第二可移动构件的所述第二端之间的距离根据所述第二可移动构件关于所述旋转轴承的旋转轴的枢转运动而改变，

其中，第一驱动器包括第一定子和第一动子，所述第一动子在不约束所述旋转轴承的情况下连接到所述第二可移动构件的第一端。

2.根据权利要求1所述的定位装置，其中

所述第一可移动构件经由第一静压轴承而被所述导引面导引，并且

所述导引面布置在所述第一定子与所述第一可移动构件之间。

3.根据权利要求2所述的定位装置，所述定位装置还包括：

第一线性编码器，其被构造成测量所述第一动子的位置，

其中，所述第一线性编码器包括被构造成与所述第一动子一起移动的检测头。

4.根据权利要求1所述的定位装置，所述定位装置还包括：第二线性编码器，其被构造成测量所述第二动子的位置，

其中，所述第二线性编码器包括被构造成与所述第二动子一起移动的检测头。

5.根据权利要求1所述的定位装置，其中，所述第二可移动构件经由第二静压轴承而被与所述第一方向和所述第二方向平行的所述面导引。

6.根据权利要求1所述的定位装置，其中，所述第三可移动构件经由第三静压轴承而被与所述第一方向和所述第二方向平行的所述面导引。

7.根据权利要求2所述的定位装置，其中，所述第一可移动构件与所述旋转轴承之间的固定构件相对于与所述第一方向和所述第二方向平行的所述面的高度，在所述第一静压轴承的下端与上端相对于与所述第一方向和所述第二方向平行的所述面的各高度之间。

8.根据权利要求2所述的定位装置，其中，与所述第一方向和所述第二方向平行的所述面由底板的上面形成，并且所述导引面由所述底板的侧面形成。

9.一种光刻装置，其包括：

在权利要求1至8中的任一项中所限定的定位装置；以及

基板卡盘，其安装在所述定位装置的所述第三可移动构件上，

其中，所述光刻装置将原版图案转印到由所述基板卡盘保持的基板。

10.根据权利要求9所述的光刻装置，其中，所述光刻装置被构造为压印装置和曝光装置中的一者。

11.一种制造物品的方法，该方法包括以下步骤：

通过使用在权利要求9中所限定的光刻装置来将图案转印到基板；以及

对已转印有所述图案的所述基板进行处理，以获得所述物品。