[发明专利]显示面板制造方法、显示面板的制造设备和显示面板有效

专利信息
申请号: 201710330494.3 申请日: 2017-05-11
公开(公告)号: CN107046097B 公开(公告)日: 2019-05-14
发明(设计)人: 冯翔;杨瑞智;刘莎;乔赟;孙晓;邱云;张强;杨照坤;王瑞勇;尤杨 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: H01L51/40 分类号: H01L51/40;H01L27/28
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 滕一斌
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种显示面板制造方法、显示面板的制造设备和显示面板,属于显示技术领域。所述方法包括:通过微流控技术在衬底基板上形成多个半导体材料液滴;对所述多个半导体材料液滴进行固化处理,固化处理后的所述多个半导体材料液滴形成半导体层图案。本发明通过微流控技术在衬底基板上形成半导体层图案,无需使用光刻胶。解决了相关技术中由于光刻胶可能污染有机半导体材料,因而无法用传统的光刻工艺形成由有机半导体材料构成的半导体层图案的问题。达到了可以使用各种半导体材料来形成半导体层图案的效果。
搜索关键词: 显示 面板 制造 方法 设备
【主权项】:
1.一种显示面板制造方法,其特征在于,所述方法包括:在衬底基板上依次形成栅导电图形和栅绝缘层,所述栅导电图形包括多条栅线,所述多条栅线中的每条栅线上均包括有多个栅极,所述多条栅线中,任一栅极的流动区域为所述任一栅极在所述栅绝缘层上的正投影区域,半导体材料溶液池设置有多个通道,任一所述通道的一端与所述半导体材料溶液池的内部连通,另一端设置在所述多条栅线中的指定栅线上的一个栅极的流动区域,所述指定栅线为所述多条栅线中的任意一条栅线;以所述多条栅线中的栅极作为第一电润湿电极,控制所述半导体材料溶液池中的半导体材料溶液流向形成有所述栅绝缘层的衬底基板,并在形成有所述栅绝缘层的衬底基板上形成多个半导体材料液滴;对所述多个半导体材料液滴进行固化处理,固化处理后的所述多个半导体材料液滴形成半导体层图案。
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