[发明专利]显示面板制造方法、显示面板的制造设备和显示面板有效
申请号: | 201710330494.3 | 申请日: | 2017-05-11 |
公开(公告)号: | CN107046097B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 冯翔;杨瑞智;刘莎;乔赟;孙晓;邱云;张强;杨照坤;王瑞勇;尤杨 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/40 | 分类号: | H01L51/40;H01L27/28 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 制造 方法 设备 | ||
1.一种显示面板制造方法,其特征在于,所述方法包括:
在衬底基板上依次形成栅导电图形和栅绝缘层,所述栅导电图形包括多条栅线,所述多条栅线中的每条栅线上均包括有多个栅极,所述多条栅线中,任一栅极的流动区域为所述任一栅极在所述栅绝缘层上的正投影区域,半导体材料溶液池设置有多个通道,任一所述通道的一端与所述半导体材料溶液池的内部连通,另一端设置在所述多条栅线中的指定栅线上的一个栅极的流动区域,所述指定栅线为所述多条栅线中的任意一条栅线;
以所述多条栅线中的栅极作为第一电润湿电极,控制所述半导体材料溶液池中的半导体材料溶液流向形成有所述栅绝缘层的衬底基板,并在形成有所述栅绝缘层的衬底基板上形成多个半导体材料液滴;
对所述多个半导体材料液滴进行固化处理,固化处理后的所述多个半导体材料液滴形成半导体层图案。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多条栅线的栅极在所述衬底基板上成行列排布,
所述以所述多条栅线中的栅极作为第一电润湿电极,控制所述半导体材料溶液池中的半导体材料溶液流向形成有所述栅绝缘层的衬底基板,并在形成有所述栅绝缘层的衬底基板上形成多个半导体材料液滴,包括:
向所述指定栅线施加电压,使所述半导体材料溶液池中的半导体材料溶液流向所述指定栅线中栅极的多个流动区域中,并在所述多个流动区域中形成半导体材料液滴组,所述多个流动区域中的流动区域与所述半导体材料液滴组中的半导体材料液滴一一对应;
以所述多条栅线中的栅极作为所述第一电润湿电极,控制所述半导体材料液滴组移动到目标栅线的栅极的多个流动区域,所述目标栅线为当前距离所述指定栅线最远且在栅极的流动区域中未设置有半导体材料液滴的栅线。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述以所述多条栅线中的栅极作为所述第一电润湿电极,控制所述半导体材料液滴组移动到目标栅线的栅极的多个流动区域,包括:
在所述指定栅线中栅极的多个流动区域中的半导体材料液滴组移动出所述指定栅线中栅极的多个流动区域时,向所述指定栅线施加电压,控制所述半导体材料溶液池中的半导体材料溶液流向所述指定栅线中栅极的多个流动区域。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述多条栅线在所述衬底基板上沿预设方向排布,
所述指定栅线为所述预设方向上位于所述多条栅线两端的两条栅线中的任意一条栅线。
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述多条栅线中任意相邻的两条栅线之间设置有第二电润湿电极图案,所述第二电润湿电极图案用于控制所述半导体材料液滴移动。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第二电润湿电极图案为线栅偏振结构,所述第二电润湿电极图案起到偏光片的效果。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多条栅线中,任一栅线的任一栅极的面积大于预设栅线的面积,所述预设栅线为位于所述任一栅极在所述任一栅线上的正投影中的栅线。
8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述使所述多个半导体材料液滴固化,固化后的所述多个半导体材料液滴为半导体层图案之后,所述方法还包括:
在形成有所述半导体层图案的衬底基板上形成绝缘层;
在形成有所述绝缘层的衬底基板上形成公共电极图案,所述公共电极图案与所述第二电润湿电极构成触控电极。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述多个半导体材料液滴进行固化处理,包括:
加热形成有所述多个半导体材料液滴的衬底基板,使所述多个半导体材料液滴固化。
10.根据权利要求1至9任一所述的方法,其特征在于,所述半导体材料液滴的材料包括有机半导体材料,或有机半导体材料和聚合物高分子材料的混合物,所述有机半导体材料包括小分子半导体材料和高分子半导体材料。
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