[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201710325905.X | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107527782B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 金学泳;洪定杓;宣钟宇;成德镛;林龙浩;全允珖;郑和俊 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 弋桂芬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理装置，该等离子体处理装置包括：腔室；窗口板，设置在腔室的上部分中并在其中限定有紧固孔；注入器，具有包括多个喷嘴并构造为被紧固到紧固孔的主体部、和从主体部径向地延伸以在主体部被紧固到紧固孔时部分地覆盖窗口板的底表面的凸缘部；和制动器，构造为在窗口板的上表面上被紧固到主体部以在主体部被紧固到紧固孔时将注入器保持在紧固孔中。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，包括：腔室；窗口板，设置在所述腔室的上部分中并且在其中限定有紧固孔；注入器，具有主体部和凸缘部，该主体部包括多个喷嘴并构造为被紧固到所述紧固孔，该凸缘部从所述主体部径向地延伸以在所述主体部被紧固到所述紧固孔时部分地覆盖所述窗口板的底表面；和制动器，构造为在所述窗口板的上表面上被紧固于所述主体部以在所述主体部被紧固于所述紧固孔时将所述注入器保持在所述紧固孔中。
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