[发明专利]体声波谐振器以及包括该体声波谐振器的滤波器有效
申请号: | 201710320471.4 | 申请日: | 2017-05-09 |
公开(公告)号: | CN107529685B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 李泰京;李在祥;申兰姬;姜仁瑛;金成善;韩成 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/13;H03H9/54 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 王春芝;孙丽妍 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种体声波谐振器及包括该体声波谐振的滤波器。所述体声波谐振器包括:基板;第一电极和第二电极,形成在所述基板上;及压电层,设置在所述第一电极和所述第二电极之间。所述第一电极和所述第二电极中的任意一个或两个包括钼与钨的重量比在3:1至1:3的范围内的钼‑钨合金。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 以及 包括 滤波器 | ||
【主权项】:
一种体声波谐振器,包括:基板;第一电极和第二电极,形成在所述基板上;及压电层,设置在所述第一电极和所述第二电极之间,其中,所述第一电极和所述第二电极中的任意一个或两个包括钼‑钨合金,所述钼‑钨合金中的钼与钨的比在3:1至1:3的范围内。
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