[发明专利]体声波谐振器以及包括该体声波谐振器的滤波器有效
| 申请号： | 201710320471.4 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107529685B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 李泰京;李在祥;申兰姬;姜仁瑛;金成善;韩成 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王春芝;孙丽妍 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 以及 包括 滤波器 | ||
1.一种体声波谐振器，包括：
基板；
第一电极和第二电极，形成在所述基板上；
压电层，设置在所述第一电极和所述第二电极之间；及
种子层，形成在所述第一电极和所述第二电极中的至少一个与所述基板之间，并且包括Ti和TiW中的至少一种，
其中，所述第一电极和所述第二电极中的任意一个或两个包括钼-钨合金，所述钼-钨合金中的钼与钨的重量比在3:1至1:3的范围内。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述钼-钨合金中的钼和钨之间的重量比在3:1至1:1的范围内。
3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述钼-钨合金具有(110)晶面取向。
4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述压电层由氮化铝形成。
5.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其中，所述压电层包括稀土金属或过渡金属或镁。
6.一种滤波器，包括：
多个体声波谐振器，所述多个体声波谐振器中的至少一个包括：
基板；
第一电极和第二电极，形成在所述基板上；
压电层，设置在所述第一电极和所述第二电极之间，所述第一电极和所述第二电极中的任意一个或两个包括钼-钨合金，所述钼-钨合金中的钼与钨的重量比在3:1至1:3的范围内；及
种子层，形成在所述第一电极和所述第二电极中的至少一个与所述基板之间，并且包括Ti和TiW中的至少一种。
7.根据权利要求6所述的滤波器，其中，所述钼-钨合金中的钼和钨之间的重量比在3:1至1:1的范围内。
8.根据权利要求6所述的滤波器，其中，所述钼-钨合金具有(110)晶面取向。
9.根据权利要求6所述的滤波器，其中，所述压电层由氮化铝形成。
10.根据权利要求9所述的滤波器，其中，所述压电层包括稀土金属或过渡金属或镁。
11.根据权利要求6所述的滤波器，其中，所述体声波谐振器被构造为梯形结构或晶格型结构。
12.一种终端，包括：
体声波谐振器，包括基板以及设置在第一电极和第二电极之间的压电层，所述第一电极和所述第二电极包括钼-钨合金，所述钼-钨合金具有包含11wt％-80wt％的钨的组成，
其中，所述体声波谐振器还包括种子层，所述种子层形成在所述第一电极和所述第二电极中的至少一个与所述基板之间，并且包括Ti和TiW中的至少一种。
13.根据权利要求12所述的终端，其中，所述钼-钨合金具有包含25wt％-75wt％的钨的组成。
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