[发明专利]具有双进气口的太阳能电池烘干机在审
| 申请号： | 201710312131.7 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN108807589A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 欧玉璋;张青龙;贾广利;欧钢 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B41F23/04 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种用于烘干半导体装置的烘干机，具有：包括进口、出口和传输机的处理区，所述传输机在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；位于所述处理区的加热器模块，用于加热穿过所述处理区输送来的半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的半导体装置的进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的出口。 | ||
| 搜索关键词： | 处理区 半导体装置 穿过 加热 进口 传输机 烘干机 热风 出口 加热器模块 太阳能电池 出口入口 双进气口 引入 烘干 传输 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于烘干半导体装置的烘干机，包括：处理区，包括进口和出口；传输机，在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；加热器模块，位于所述处理区，用来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述出口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
