[发明专利]具有双进气口的太阳能电池烘干机

说明书

一种用于烘干半导体装置的烘干机，具有：包括进口、出口和传输机的处理区，所述传输机在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；位于所述处理区的加热器模块，用于加热穿过所述处理区输送来的半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的半导体装置的进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的出口。

技术领域

本发明涉及用于例如太阳能电池等半导体装置的烘干机。

背景技术

太阳能电池是将光能转变为电能的光电设备。太阳能电池制作于单晶体或多晶体硅衬底上。太阳能电池通常具有金属触点，其包含例如银和铝等一种或多种金属并形成在硅衬底的正反面。

丝网印刷是在硅衬底的正反面形成金属触点的诸多工艺之一。将金属触点的图案沉积或印刷在硅衬底表面后，需要等被印刷的金属触点干燥后才能将印刷后的硅衬底送入后面的制作工序。这样是为了保证印刷的金属触点能够承受后面的高温退火处理等制作工序。红外加热器可用于烘干印刷的金属触点。然而，传统的红外加热器烘干过程通常耗时长，导致太阳能电池的产量较低，生产成本较高。

此外，印刷的金属触点通常包含可溶物质，例如挥发性有机化合物（VOC），其在烘干过程中气化。在烘干过程中，如果气态可溶物质没有从加热器的处理区清除，可溶物质会凝结并污染硅衬底和加热器。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种用于太阳能电池的烘干机，与现有技术相比，其更快烘干太阳能电池并能减少污染。

因此，本发明提供一种用于烘干半导体装置的烘干机，具有：包含进口、出口和传输机的处理区，所述传输机在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；位于所述处理区的加热器模块，用来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置；进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述进口；以及出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述出口。

借助所附权利要求、说明书部分和附图将会更好理解上述及其他特征、特性和优点。

附图说明

现在本发明的实施例将仅通过附图来描述，附图说明如下。

图1为本发明优选实施例中提供的烘干机的正视图。

图2为从图1 的C方向看的烘干机的侧视图。

图中，相同的附图标记表示相同的部件。

具体实施方式

图1为本发明优选实施例提供的烘干机100的正视图。所述烘干机100包括进口加热器模块208、出口加热器模块212、辐射加热模块220、热交换器205以及传输机203。所述传输机203位于所述烘干机100的顶部和底部中间。所述进口加热器模块208、所述出口加热器模块212以及所述辐射加热模块220位于所述传输机203上方，并被所述烘干机100的所述顶部的顶盖201密封。所述热交换器205位于所述传输机203的下方，并被所述烘干机100的所述底部的底盖202密封。