[发明专利]具有双进气口的太阳能电池烘干机在审
| 申请号： | 201710312131.7 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN108807589A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 欧玉璋;张青龙;贾广利;欧钢 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B41F23/04 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理区 半导体装置 穿过 加热 进口 传输机 烘干机 热风 出口 加热器模块 太阳能电池 出口入口 双进气口 引入 烘干 传输 延伸 | ||
1.一种用于烘干半导体装置的烘干机，包括：
处理区，包括进口和出口；
传输机，在所述进口和所述出口之间延伸，用来传输半导体装置，使其从所述进口到所述出口穿过所述处理区；
加热器模块，位于所述处理区，用来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置；
进口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述进口；以及
出口入口，靠近将热风引入所述处理区来加热穿过所述处理区输送来的所述半导体装置的所述出口。
2.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：还包括位于所述进口入口和所述出口入口之间的排气入口，用于清除从所述处理区穿过所述进口入口和所述出口入口引入的所述热风。
3.如权利要求2所述的烘干机，其特征在于：所述排气入口和所述进口入口之间的距离基本等于所述排气入口和所述出口入口之间的距离。
4. 如权利要求2所述的烘干机，其特征在于，还包括：
排气导管，位于所述处理区下方，用于将从所述处理区清除的所述热风远离所述处理区向下输送；及
热交换器，位于所述处理区下方，用于从所述排气导管接收所述热风。
5.如权利要求4所述的烘干机，其特征在于，还包括：鼓风机，与向所述处理区供气的所述热交换器流体连通，其中所述鼓风机用于通过所述热交换器向所述处理区吹气，以预热所述处理区。
6. 如权利要求1所述的烘干机，其特征在于，还包括：
进口加热器模块，靠近所述进口入口，用于加热穿过所述进口入口向所述处理区提供的空气；以及
出口加热器模块，靠近所述出口入口，用于加热穿过所述出口入口向所述处理区提供的空气。
7.如权利要求6所述的烘干机，其特征在于：所述进口加热器模块和所述出口加热器模块还分别包括散热器，用于将热量传递给经过所述进口加热器模块和所述出口加热器模块朝所述处理区流动的气流。
8.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述进口入口和所述出口入口用于将热风朝与穿过所述处理区输送所述半导体装置基本平行的方向引导到所述处理区。
9.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述出口入口用于将热风朝与热风从所述进口入口被引入所述处理区的方向相反的方向引导到所述处理区。
10.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述加热器模块包括红外线灯。
11.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述加热器模块位于所述处理区顶部并位于所述传输机上方。
12.如权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述传输机具有一定尺寸，并配置用于穿过所述处理区同时输送相邻两行半导体装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
