[发明专利]一种连接装置及半导体加工设备

摘要

本发明提供一种连接装置及半导体加工设备，所述连接装置通过将上连接件套设在石英管的外周壁上，将支撑部件与石英管底部固定连接，并容置于下连接件内，以支撑上连接件，并将与上连接件固定连接的下连接件与旋转升降机构固定相连，从而实现石英管与旋转升降机构固定连接，这样，无需额外设置腔室外罩，不但解决了石英管、石英轴套筒和腔室外罩之间安装精度要求高的问题，降低部件加工、安装难度，而且石英管在安装、使用过程中不再受到径向的应力，从而降低石英管碎裂的风险。

主权项

1.一种连接装置，用于连接石英腔与旋转升降机构，所述石英腔包括竖直的石英管，所述石英管内设置石英轴，所述石英轴的底端与所述旋转升降机构相连，其特征在于，所述连接装置包括：依次设置的上连接件、支撑部件以及下连接件，所述石英轴容置在三者形成的空腔内，其中：所述上连接件套设在所述石英管的外周壁上；所述支撑部件与所述石英管底部固定连接，并容置于所述下连接件内，用于支撑所述上连接件；所述下连接件与所述旋转升降机构固定相连，所述上连接件与所述下连接件通过固定件固定连接。