[发明专利]压印装置、压印方法以及制造物品的方法有效
| 申请号： | 201710265042.1 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN107305317B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 塩出吉宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压印装置、压印方法以及制造物品的方法，该压印装置通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，该压印装置包括：控制单元，其被构造为对使模具变形为凸形并将模具与压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，控制单元基于表示模具与基板之间的相对倾斜、与在模具与压印材料之间接触时使相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定目标相对倾斜，使得在模具与压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将相对倾斜设定为目标相对倾斜之后，开始模具与压印材料之间的接触。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 以及 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种压印装置，其通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：变形单元，其被构造为使所述模具变形为朝向所述基板突出的凸形；以及控制单元，其被构造为对所述变形单元使所述模具变形并将所述模具与所述压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，所述控制单元基于表示所述模具与所述基板之间的相对倾斜、与在所述模具与所述压印材料之间接触时使所述相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜，使得在所述模具与所述压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将所述模具与所述基板之间的相对倾斜设定为所述目标相对倾斜之后，开始所述模具与所述压印材料之间的接触。
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