[发明专利]压印装置、压印方法以及制造物品的方法

说明书

本发明提供了一种压印装置、压印方法以及制造物品的方法，该压印装置通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，该压印装置包括：控制单元，其被构造为对使模具变形为凸形并将模具与压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，控制单元基于表示模具与基板之间的相对倾斜、与在模具与压印材料之间接触时使相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定目标相对倾斜，使得在模具与压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将相对倾斜设定为目标相对倾斜之后，开始模具与压印材料之间的接触。

技术领域

本发明涉及压印装置、压印方法以及制造物品的方法。

背景技术

作为一种批量生产半导体器件等的光刻装置，通过使用包括形成有图案的图案区域的模具将凹凸图案转印到基板上的压印材料的压印装置受到了关注。压印装置能够通过在模具和压印材料彼此接触的状态下执行固化基板上的压印材料的压印处理，在基板上的压印材料中形成图案。在这种压印装置中，如果在使模具和压印材料彼此接触时有气泡残留在模具的图案中，则压印材料中形成的图案中可能会发生缺陷。日本特开2009-536591号公报提出了一种通过使模具的图案区域变形为朝向基板突出的凸形以将模具和压印材料彼此接触，来减少残留在模具图案中的气泡的方法。

通常，当使模具和基板上的压印材料彼此接触时，可以执行模具与基板之间的相对倾斜的伺服控制。然而，如果在图案区域变形为凸形的状态下使模具和基板上的压印材料彼此接触，则在模具与压印材料之间接触时可能会出现使模具与基板之间的相对倾斜波动的力矩。如果出现这种力矩，则模具和基板可能相对摆动，引起诸如用压印材料填充模具的凹凸图案(凹部)不充分或者压印材料填充时间延长的故障。

发明内容

本发明例如提供了一种有利于减小在模具与基板上的压印材料之间接触时产生的力矩的技术。

根据本发明的一个方面，提供了一种压印装置，其通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：变形单元，其被构造为使所述模具变形为朝向所述基板突出的凸形；以及控制单元，其被构造为对所述变形单元使所述模具变形并将所述模具与所述压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，所述控制单元基于表示所述模具与所述基板之间的相对倾斜、与在所述模具与所述压印材料之间接触时使所述相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜，使得在所述模具与所述压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将所述模具与所述基板之间的相对倾斜设定为所述目标相对倾斜之后，开始所述模具与所述压印材料之间的接触。

根据本发明的一个方面，提供了一种制造物品的方法，所述方法包括以下步骤：使用压印装置在基板上形成图案；对形成有所述图案的所述基板进行处理以制造所述物品，其中，所述压印装置通过使用模具在所述基板上形成所述压印材料的图案，并且包括：变形单元，其被构造为使所述模具变形为朝向所述基板突出的凸形；以及控制单元，其被构造为对所述变形单元使所述模具变形并将所述模具与所述压印材料彼此接触的处理进行控制，其中，所述控制单元基于表示所述模具与所述基板之间的相对倾斜、与在所述模具与所述压印材料之间接触时使所述相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜，使得在所述模具与所述压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内，并且在将所述模具与所述基板之间的相对倾斜设定为所述目标相对倾斜之后，开始所述模具与所述压印材料之间的接触。

根据本发明的一个方面，提供了一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印方法，所述压印方法包括以下步骤：基于表示所述模具与所述基板之间的相对倾斜、与在所述模具与所述压印材料之间接触时使所述相对倾斜波动的力矩之间的关系的信息，确定所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜，使得在所述模具与所述压印材料之间接触时产生的力矩落在允许范围内；以及使所述模具变形为朝向所述基板突出的凸形，并在将所述模具与所述基板之间的相对倾斜设定为所述目标相对倾斜之后，开始所述模具与所述压印材料之间的接触。

通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。

附图说明