[发明专利]压印装置、压印方法以及制造物品的方法

权利要求书

1.一种压印装置，其通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：

变形单元，其被构造为使所述模具变形为朝向所述基板突出的凸形；

驱动单元，其包括多个致动器，并且被构造为驱动所述模具和所述基板中的至少一者，以使所述模具与所述基板彼此接触；以及

控制单元，其被构造为在控制所述变形单元对所述模具的变形的同时，对所述驱动单元进行的将所述模具与所述压印材料彼此接触的处理进行控制，

其中，所述控制单元：

获得预先创建的力矩信息，所述力矩信息表示在开始所述模具与所述基板上的所述压印材料之间的接触之前所述模具与所述基板之间的初始相对倾斜、与通过以初始相对倾斜开始所述模具与所述压印材料之间的接触而在所述模具与所述基板之间产生的力矩的值之间的关系，

基于获得的所述力矩信息，确定所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜，使得力矩的值落在预定范围内，并且

在将所述模具与所述基板之间的相对倾斜设定为所述目标相对倾斜之后，开始所述模具与所述压印材料之间的接触，并且

其中，基于当以初始相对倾斜开始所述模具与所述压印材料之间的接触时所述多个致动器的各个状态，预先创建所述力矩信息。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述基板包括多个投射区域，并且

所述控制单元基于所述力矩信息，针对各个投射区域确定所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜。

3.根据权利要求2所述的压印装置，其中，所述多个投射区域包括第一投射区域和第二投射区域，并且

所述控制单元基于所述力矩信息，将所述第一投射区域与所述第二投射区域之间的力矩差转换为相对倾斜差，并且通过利用所述相对倾斜差校正针对所述第一投射区域确定的目标相对倾斜，来确定针对所述第二投射区域的目标相对倾斜。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，通过针对彼此不同的多个初始相对倾斜中的各个获得力矩的值，来创建所述力矩信息。

5.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：

传感器，其被构造为检测在所述多个致动器中产生的力，

其中，所述控制单元通过基于使所述传感器在以初始相对倾斜开始所述模具与所述压印材料之间的接触时检测在所述多个致动器中分别产生的力的结果来获得力矩的值，来创建所述力矩信息。

6.根据权利要求5所述的压印装置，其中，所述预定范围是当在所述多个致动器中分别产生的力之间的差落在目标范围内时的力矩的范围。

7.根据权利要求1所述的压印装置，其中，针对各个模具创建所述力矩信息。

8.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述预定范围是当形成在所述基板上的所述压印材料的图案的变形落在目标范围内时的力矩的范围。

9.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元控制所述模具与所述压印材料之间的接触，以维持所述模具与所述基板之间的目标相对倾斜。

10.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：

存储器，其被构造为存储所述力矩信息，

其中，所述控制单元在所述存储器中预先存储所述力矩信息，并且基于从所述存储器获得的所述力矩信息确定目标相对倾斜。

11.根据权利要求5所述的压印装置，其中，所述预定范围包括当所述多个致动器产生的力之间的差为零时力矩的值。