[发明专利]伯努利吸盘

摘要

本发明提供一种伯努利吸盘，包括：拿持部，拿持部内形成有气体主管路；主体部，主体部内形成有气体子管路，主体部的下表面形成有若干个排气孔；第二气体子管路第一部分的第一端与所述气体主管路相连通，气体子管路第一部分的第二端延伸至主体部远离拿持部的一端；气体子管路第二部分的第一端与气体子管路第一部分的第二端相连通，气体子管路第二部分的第二端自主体部远离所述拿持部的一端延伸至主体部靠近拿持部的一端；气体子管路第三部分与气体子管路第二部分的第二端相连通；排气孔与气体子管路第三部分相连通。本发明的伯努利吸盘可以保证喷射出的气体的温度与晶圆的温度相近，从而有效避免了雾状缺陷的产生。

主权项

1.一种伯努利吸盘，其特征在于，所述伯努利吸盘包括：拿持部，所述拿持部内形成有气体主管路；主体部，与所述拿持部相连接，所述主体部内形成有气体子管路，所述主体部的下表面形成有若干个排气孔；所述气体子管路包括第一部分、第二部分及第三部分；所述气体子管路第一部分包括第一端及第二端，所述气体子管路第一部分的第一端与所述气体主管路相连通，所述气体子管路第一部分的第二端延伸至所述主体部远离所述拿持部的一端；所述气体子管路第二部分包括第一端及第二端，所述气体子管路第二部分的第一端与所述气体子管路第一部分的第二端相连通，所述气体子管路第二部分的第二端自所述主体部远离所述拿持部的一端延伸至所述主体部靠近所述拿持部的一端；所述气体子管路第三部分与所述气体子管路第二部分的第二端相连通；所述排气孔与所述气体子管路第三部分相连通。