[发明专利]伯努利吸盘有效
申请号: | 201710262327.X | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN108735643B | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 季文明;刘源 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201306 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 伯努利 吸盘 | ||
1.一种伯努利吸盘,其特征在于,所述伯努利吸盘包括:
拿持部,所述拿持部内形成有气体主管路;
主体部,与所述拿持部相连接,所述主体部内形成有气体子管路,所述主体部的下表面形成有若干个排气孔;所述气体子管路包括第一部分、第二部分及第三部分;所述气体子管路第一部分包括第一端及第二端,所述气体子管路第一部分的第一端与所述气体主管路相连通,所述气体子管路第一部分的第二端延伸至所述主体部远离所述拿持部的一端;所述气体子管路第二部分包括第一端及第二端,所述气体子管路第二部分的第一端与所述气体子管路第一部分的第二端相连通,所述气体子管路第二部分的第二端自所述主体部远离所述拿持部的一端延伸至所述主体部靠近所述拿持部的一端;所述气体子管路第三部分与所述气体子管路第二部分的第二端相连通;所述排气孔与所述气体子管路第三部分相连通。
2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述气体子管路第一部分的数量及所述气体子管路第二部分的数量均为两个;两个所述气体子管路第一部分位于所述气体子管路第三部分的外围,其中,一个所述气体子管路第一部分和一个所述气体子管路第二部分位于所述气体子管路第三部分的一侧,另一个所述气体子管路第一部分和另一个所述气体子管路第二部分位于所述气体子管路第三部分的另一侧,所述气体子管路第二部分位于所述气体子管路第一部分与所述气体子管路第三部分之间;两个所述气体子管路第一部分的第一端均与所述气体主管路相连通,两个所述气体子管路第一部分的第二端分别与与其位于所述气体子管路第三部分同一侧的所述气体子管路第二部分的第一端相连通;两个所述气体子管路第二部分的第二端均与所述气体子管路第三部分相连通。
3.根据权利要求2所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述主体部的形状为圆形,所述气体子管路第一部分的形状为半圆弧形。
4.根据权利要求2所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述气体子管路第三部分包括第一支管路及若干个第二支管路;所述第一支管路与所述气体主管路相平行,所述第二支管路与所述第一支管路相连通,且自所述第一支管路向所述主体部的两侧延伸。
5.根据权利要求4所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述第一支管路的一端与两个所述气体子管路第二部分的第二端相连通。
6.根据权利要求4所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述第一支管路的轴向中心线及所述气体主管路的轴向中心线均与所述伯努利吸盘的中心对称轴相重合。
7.根据权利要求6所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述第二支管路对称分布于所述第一支管路两侧。
8.根据权利要求7所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述排气孔沿所述第一支管路的长度方向及所述第二支管路的长度方向均呈均匀分布。
9.根据权利要求1所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述拿持部与所述主体部为一体成型结构。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的伯努利吸盘,其特征在于:所述气体子管路第二部分呈蛇形蜿蜒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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