[发明专利]一种蒸发源装置在审
| 申请号： | 201710252800.6 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN107058957A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸发源装置。该蒸发源装置包括本体以及加热构件；所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体，所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体；所述本体包括第一壁体，所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状；所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通，所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布，并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。该方案通过弯曲型的缝隙状喷射口改变蒸镀气体流向，使其更多地沉积到基板上，提高材料利用率，同时，喷射口设计为缝隙状可降低堵孔风险，提高量产的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，其特征在于，该蒸发源装置包括：本体以及加热构件；所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体，所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体；所述本体包括第一壁体，所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状；所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通，所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布，并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。
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